真空室全部由阳极氧化铝制成，可放置最大直径400mm的托盘，可放置最大高度400mm的电机定子。在真空室顶部安装有真空传感器和配比阀。在真空室前部安装有带有机玻璃窗口的手动舱门。操作员可以使用手动阀门来控制舱门开关，可以控制旋转台转动。

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